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為深入實施創新驅動發展戰略，加快建設具有全球影響力的科技創新中心✋🏿，根據《上海市建設具有全球影響力的科技創新中心“十四五”規劃》，上海市科學技術委員會特發布2022年度“科技創新行動計劃”集成電路領域項目申報指南。

一、征集範圍

專題一👨🏽‍🏭、前沿技術研究

方向1：關鍵裝備零部件與材料

研究內容（1）：集成電路工藝檢測設備用超寬光譜光源研製

執行期限：2022年8月1日至2024年7月31日🧘🏻‍♂️。

經費額度：非定額資助，擬支持不超過1個項目👩🏽‍🦱，每項資助額度不超過500萬元👩🏻‍🎓，企業自籌經費與申請資助經費的比例不低於2:1🌻。

研究內容（2）：面向化合物半導體工藝的分子束外延設備核心部件研製

執行期限：2022年8月1日至2024年7月31日🫓。

經費額度：非定額資助👩‍🌾，擬支持不超過1個項目，每項資助額度不超過500萬元，企業自籌經費與申請資助經費的比例不低於2:1。

研究內容（3）：芯片先進封裝用高導熱石墨烯強化界面散熱材料研發

執行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。

經費額度：非定額資助，擬支持不超過1個項目，每項資助額度不超過500萬元，企業自籌經費與申請資助經費的比例不低於2:1。

專題二、顛覆性技術研究

方向1：新材料👨🏻‍💼、新器件、新方法

研究內容（1）🦅：並行探針陣列電子束光刻關鍵技術研究

執行期限：2022年8月1日至2024年7月31日👩‍🦼‍➡️。

經費額度🍠⬇️：非定額資助👩‍👩‍👧‍👧，擬支持不超過1個項目☎️🏰，每項資助額度不超過500萬元，企業自籌經費與申請資助經費的比例不低於1:1。

研究內容（2）：基於有機無機雜化金屬氧化物的EUV光刻膠幹法製備關鍵技術研究

執行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。

經費額度：非定額資助👩‍⚖️，擬支持不超過1個項目，每項資助額度不超過500萬元，企業自籌經費與申請資助經費的比例不低於1:1💇🏿。

研究內容（3）🥂👷🏿‍♂️：叉板式（ForkSheet）場效應晶體管關鍵技術研究

執行期限：2022年8月1日至2024年7月31日👨‍🦽🐐。

經費額度🙍🏼：非定額資助🔤，擬支持不超過1個項目🤵🏻‍♂️，每項資助額度不超過500萬元，企業自籌經費與申請資助經費的比例不低於1:1🚜。

研究內容（4）🙋‍♂️：基於先進CMOS工藝的新型SOI晶體管關鍵技術研究

執行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。

經費額度🎙：非定額資助💇🏻‍♂️，擬支持不超過1個項目，每項資助額度不超過500萬元🦹🏿，企業自籌經費與申請資助經費的比例不低於1:1。

研究內容（5）：新型柔性存算一體器件技術研究

執行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。

經費額度🏋🏻：非定額資助🚛🚗，擬支持不超過1個項目🚔，每項資助額度不超過500萬元，企業自籌經費與申請資助經費的比例不低於1:1。

研究內容（6）：面向適用於低功耗、高帶寬需求的多芯片集成技術研究

執行期限：2022年8月1日至2024年7月31日。

經費額度🥡：非定額資助🕴🏻，擬支持不超過1個項目🐦‍⬛，每項資助額度不超過500萬元👩🏿‍🦳，企業自籌經費與申請資助經費的比例不低於1:1✉️。

     二、申報要求

除滿足前述相應條件外，還須遵循以下要求：

1. 項目申報單位應當是註冊在本市的法人或非法人組織☔️，具有組織項目實施的相應能力。

     2. 研究內容已經獲得財政資金支持的，不得重復申報。

     3. 所有申報單位和項目參與人應遵守科研倫理準則🌂，遵守人類遺傳資源管理相關法規和病原微生物實驗室生物安全管理相關規定👩‍👩‍👦‍👦，符合科研誠信管理要求。項目負責人應承諾所提交材料真實性，申報單位應當對申請人的申請資格負責👩🏻‍💼，並對申請材料的真實性和完整性進行審核🤾🏽‍♂️，不得提交有涉密內容的項目申請。

     4. 申報項目若提出回避專家申請的，須在提交項目可行性方案的同時，上傳由申報單位出具公函提出回避專家名單與理由。

     5. 已作為項目負責人承擔市科委科技計劃在研項目2項及以上者👝，不得作為項目負責人申報。

      6.項目經費預算編製應當真實、合理🈹，符合市科委科技計劃項目經費管理的有關要求🏦🙇🏻‍♀️。

三🏋🏻、申報方式

1.項目申報采用網上申報方式，無需送交紙質材料⚆。申請人通過“中國上海”門戶網站（http://www.sh.gov.cn）--政務服務--點擊“上海市財政科技投入信息管理平臺”進入申報頁面，或者直接通過域名http://czkj.sheic.org.cn/進入申報頁面🤴🏻：

【初次填寫】使用“一網通辦”登錄（如尚未註冊賬號，請先轉入“一網通辦”註冊賬號頁面完成註冊），進入申報指南頁面🦶🏻，點擊相應的指南專題，進行項目申報；

【繼續填寫】使用“一網通辦”登錄後🤜🏽，繼續該項目的填報🤪。

有關操作可參閱在線幫助💃🏼。

2.項目網上填報起始時間為2022年7月5日9:00🙆🏼‍♂️，截止時間（含申報單位網上審核提交）為2022年7月22日16:30🧝🏼‍♀️。

請項目申報人於2022年7月19日9：00前系統中提交申報書。

四、評審方式

采用一輪通訊評審方式。

五🐏、立項公示

上海市科委將向社會公示擬立項項目清單👮🏻‍♀️，接受公眾異議🥷🏽🔒。

六、咨詢電話

服務熱線：021-12345、8008205114（座機）、4008205114（手機）

聯系人🤾🏻🤬：邢晨晨

聯系電話：67791237

郵箱𓀁☝🏿：msxingchenchen@126.com

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2022年6月28日